Ngày 15/11/2025, Bộ Khoa học và Công nghệ ban hành Thông tư số 32/2025/TT-BKHCN về Danh mục nguyên liệu, vật liệu bán dẫn, thiết bị, máy móc, công cụ cho công nghiệp bán dẫn được khuyến khích đầu tư phát triển.

Danh mục nguyên liệu, vật liệu bán dẫn được khuyến khích đầu tư phát triển được ban hành kèm Thông tư số 32/2025/TT-BKHCN như sau:

- Silicon tinh khiết cao (Polysilicon).

- Hợp chất bán dẫn thế hệ mới.

- Tấm wafer.

- Mặt nạ quang và vật liệu tạo ra mặt nạ quang.

- Chất cản quang.

- Hóa chất phục vụ sản xuất chip bán dẫn.

- Khí chuyên dụng phục vụ sản xuất chip bán dẫn.

- Bia phún xạ (Sputtering targets).

- Khung dẫn (leadframes).

- Đế mạch đóng gói (substrates).

- Vật liệu đóng gói chip bán dẫn.

- Dây kết nối (bonding wires).

- Vật liệu gắn wafer, die, chip bán dẫn.

- Gốm kỹ thuật.

Danh mục thiết bị, máy móc, công cụ cho công nghiệp bán dẫn được khuyến khích đầu tư phát triển được ban hành kèm Thông tư 32/2025/TT-BKHCN như sau:

Nhóm thiết bị, máy móc, công cụ thiết kế:

- Khối thiết kế/khối chức năng thiết kế chip bán dẫn (IP Cores).

- Công cụ thiết kế chip bán dẫn (Electronic Design Automation - EDA tools).

- Bộ quy tắc thiết kế theo công nghệ chế tạo chip của nhà máy sản xuất chip bán dẫn (PDKs).

- Các thiết bị, hệ thống dùng để đánh giá bản thiết kế chip bán dẫn và IP Cores.

Nhóm thiết bị, máy móc, công cụ sản xuất và đóng gói, kiểm thử chip bán dẫn:

- Thiết bị dùng để tạo ra các phôi đơn tinh thể từ silicon, silicon carbide (SiC), gallium arsenide (GaAs), gallium nitride (GaN), hoặc Indium Phosphide (InP),...

- Thiết bị gia công đơn tinh thể (Crystal machining equipments).

- Thiết bị cấy ion (Ion implanters).

- Thiết bị quang khắc (Photolithography equipments).

- Thiết bị lắng đọng màng mỏng (Deposition equipments).

- Thiết bị khắc (Etching equipments).

- Thiết bị làm sạch tấm wafer (Wafer cleaning equipments).

- Thiết bị xử lý lớp cản quang (Resist processing equipments).

- Thiết bị liên kết và căn chỉnh wafer (Wafer bonders and aligners).

- Hệ thống xử lý vật liệu tự động (Automated material handling systems).

- Thiết bị giám sát quy trình (Process monitoring equipments).

- Thiết bị cắt tách khuôn (Dicing equipments).

- Thiết bị lắp ráp tích hợp (Integrated assembly equipments).

- Thiết bị kiểm thử (Testing equipments).

Danh mục được điều chỉnh, cập nhật phù hợp với Chiến lược phát triển công nghiệp bán dẫn Việt Nam và yêu cầu quản lý ngành, lĩnh vực trong từng thời kỳ.

Tổ chức, doanh nghiệp thực hiện hoạt động sản xuất nguyên liệu, vật liệu, thiết bị, máy móc, công cụ cho công nghiệp bán dẫn thuộc Danh mục quy định tại Phụ lục của Thông tư này được áp dụng chính sách đối với ngành, nghề đặc biệt ưu đãi đầu tư theo pháp luật về đầu tư và pháp luật khác có liên quan; có trách nhiệm cung cấp, cập nhật thông tin các nguyên liệu, vật liệu, thiết bị, máy móc, công cụ cho công nghiệp bán dẫn được khuyến khích đầu tư phát triển trên Hệ thống thông tin quốc gia về công nghiệp công nghệ số.

Trong quá trình triển khai thực hiện, nếu có vướng mắc hoặc có vấn đề mới phát sinh, doanh nghiệp và cá nhân phản ánh kịp thời về Bộ Khoa học và Công nghệ (Cục Công nghiệp công nghệ thông tin) để nghiên cứu, xem xét hướng dẫn hoặc sửa đổi, bổ sung theo quy định.

Thông tư 32/2025/TT-BKHCN có hiệu lực thi hành kể từ ngày 01/01/2026.

Tải Thông tư tại đây Thong tu 32.2025.TT-BKHCN.pdf​